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容器組件

nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶

  • 產品名稱:nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶
  • 產品型號:
  • 產品廠商:nikkato日陶
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簡單介紹
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nikkato日陶 半導體制造的各種熱電偶

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? NIKKATO日陶 在半導體制造中使用的熱電偶主要包括以下幾種類型?:

  1. ? SPRIKE T/C (控溫熱電偶)?:主要用于控制爐體溫度。SPRIKE T/C通常是單點型,每個點的位置需要與PROFILE T/C的溫度點相互平行對應,以確保爐溫的穩定和正確?

  2. ? PROFILE T/C (校準熱電偶)?:分為 LP PROFILE T/C  AP PROFILE T/C ,用于測量溫度而非控制溫度。PROFILE T/C用于測量爐子每一設定點的實際溫度,確保與設定值相同。其保護管有高純度透明石英管、SIC管(有Cu涂層及無涂層)和藍寶石管等,適用于高溫工藝?

  3. ? FLAT ZONE T/C (校正熱電偶)?:當產品厚度異常時使用,用于測量爐體溫度分布。FLAT ZONE T/C是單點式測量,從底部緩慢向出口端移動并記錄溫度,分為自動(約24小時)和手動(約兩小時)?

這些熱電偶在半導體制造中起著至關重要的作用,確保溫度控制的準確性和穩定性,從而影響產品的質量和生產效率。

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