IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
- 產(chǎn)品名稱：IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
- 產(chǎn)品型號(hào)：FLP-75W型
- 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔：
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
的詳細(xì)介紹IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
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IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵
氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP系列 不需要阻尼器，實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)，有助于降低總成本 它通過(guò)適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作
產(chǎn)品特點(diǎn)
低脈動(dòng)：根據(jù)激光位移傳感器和接近開(kāi)關(guān)的信號(hào)，控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過(guò)控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量，并通過(guò)切換電磁閥來(lái)減小脈動(dòng)。
優(yōu)異的負(fù)載跟隨性，適用于單晶圓工藝：通過(guò)執(zhí)行相位控制改善了負(fù)載波動(dòng)的可跟隨性。特別是在頻繁發(fā)生壓力波動(dòng)的生產(chǎn)線中，例如單張紙加工，其高負(fù)荷跟隨能力實(shí)現(xiàn)了排出量和排出壓力的穩(wěn)定操作。
無(wú)需阻尼器，節(jié)省空間：由于不需要安裝阻尼器，因此實(shí)現(xiàn)了裝置的節(jié)省空間。管道工作也很容易，可以減少昂貴的管道材料，如氟樹(shù)脂配件，有助于更小更輕的設(shè)備。
**設(shè)計(jì)：波紋管焊接結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏，即使波紋管破裂，也會(huì)采用檢測(cè)漏液的泄漏傳感器，因此您可以放心使用。
產(chǎn)品規(guī)格
| *大放電量L/min | 92 | ||
| 工作液溫度℃ | 5 ? 100 | 101 ? 150 | 151 ? 180 |
| *大氣壓范圍MPa | 0.1 ? 0.5 | 0.1 ? 0.4 | 0.1 ? 0.3 |
| 自吸能力注2m | 1 | ||
| *大液體輸送粘度mPa?s | 50 | ||
| 環(huán)境工作溫度/濕度 ℃ /%RH | 0 ? 60℃／ 30 ? 60%RH（無(wú)冷凝） | ||
| 存儲(chǔ)環(huán)境溫度/濕度 ℃ /%RH | -10 ? 60℃／ 20 ? 70%RH（無(wú)冷凝） | ||
| 安裝環(huán)境 | 室內(nèi)（但塵土較少的環(huán)境） | ||
| 使用條款 | 間歇性操作 | ||
| 使用方法 | 驅(qū)動(dòng)空氣外部強(qiáng)制切換系統(tǒng) | ||
| 吸入側(cè)連接管道端口直徑 | φ 31.8× φ 28.0mm（PFA） | ||
| 排出側(cè)連接管道端口直徑 | φ 25.4× φ 22.2mm（PFA） | ||
| 供氣連接口直徑 | Rc1/2 | ||
| 重量kg |
42 |
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